Турбомолекулярные насосы: принцип работы и области применения

С развитием высокотехнологичных областей промышленности и науки, таких как производство полупроводников и экспериментальная физика с использованием ускорителей частиц, появилась потребность в более совершенных вакуумных системах, способных создавать сверхнизкое давление при обеспечении чистоты разреженной среды. В ответ на этот запрос были разработаны и стали производиться турбомолекулярные насосы https://tako-line.ru/catalog/vakuumnoe_oborudovanie/vakuymnye_nasosy/turbomolekulyarnye_nasosy/ (ТМН).

Принцип работы

Упрощенно насос состоит из цилиндрической рабочей камеры, которая служит статором, и ротора, соосного с ней. Вал ротора и статор оснащены лопастями, расположенными в строго определенной последовательности.

Лопасти ротора вращаются со скоростью до нескольких десятков тысяч оборотов в минуту. При этом молекулы газа, находящиеся в рабочей камере насоса, при столкновении с лопастями ротора и статора получают импульс в направлении выходного отверстия. За счет этого молекулы «выбрасываются» из камеры, создавая разрежение.

К особенностям турбомолекулярных насосов относятся их способность эффективно откачивать тяжелые газы, простота конструкции, высокая производительность и надёжность,

Основные области применения

ТМН незаменимы в следующих сферах:

• научные исследования в условиях ультравысокого вакуума, например эксперименты по физике плазмы, низкотемпературной физике;
• тестирование систем жизнеобеспечения космических станций и аппаратов;
• удаление примесных газов при очистке поверхности кристаллов полупроводников;
• напыление тонких плёнок в условиях разреженной среды при производстве микроэлектроники;
• тестирование систем жизнеобеспечения космических станций и аппаратов.

ТМН продолжают развиваться и совершенствоваться вместе с растущими потребностями современных технологий. Одно из самых перспективных направлений их эволюции — интеграция насосов в системы мониторинга и интеллектуального управления вакуумом.